[发明专利]一种高温度稳定性的声表面波滤波器结构在审
申请号: | 202310407771.1 | 申请日: | 2023-04-17 |
公开(公告)号: | CN116455348A | 公开(公告)日: | 2023-07-18 |
发明(设计)人: | 陈正林;罗山焱;杜雪松;马晋毅;潘虹芝;贺艺;肖强;董加和;徐瑞豪;郑泽渔;陈彦光 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02 |
代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 项晓丹 |
地址: | 400060 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种高温度稳定性的声表面波滤波器结构,该结构包括压电衬底和电极层,还包括绝缘层,且所述绝缘层位于所述压电衬底和所述电极层之间,本发明通过在电极层底部增加一定厚度的绝缘层,电极层没有直接接触到压电衬底的表面,和传统的电极层与压电衬底直接接触相比,电学边界条件发生很大变化,电场对各声波模式的激励效率也发生变化,保持主模声波激励效率和Q值(品质因数)的前提下添加一定厚度的绝缘层可抑制杂波模式寄生,同时由于绝缘层的存在,也使得器件的温度稳定性得到了大大的改善。 | ||
搜索关键词: | 一种 温度 稳定性 表面波 滤波器 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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