[发明专利]金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备

摘要

本发明公开了一种金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备，方法包括：抛光过程中，获取膜厚传感器测量金属膜厚的第n次输出量Sn；利用此时的膜厚传感器温度tsn和自身温漂函数，计算传感器温漂补偿量ΔSsn；利用此时的晶圆温度twn、第n‑1次测定的膜厚dn‑1以及晶圆温度补偿函数，计算晶圆温漂补偿量ΔSwn；计算补偿后的输出量Sn′，Sn′＝Sn‑ΔSsn‑ΔSwn；根据传感器输出函数以及所述补偿后的输出量Sn′得到第n次测定的膜厚dn。