[发明专利]一种提升类金刚石碳基膜层结合力等级的薄膜结构及方法在审
| 申请号： | 202310411382.6 | 申请日： | 2023-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN116426891A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 陆樟栋 | 申请（专利权）人： | 苏州辉钻纳米新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/14;C23C14/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215512 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提升类金刚石碳基膜层结合力等级的薄膜结构，包括：基体材料；沉积于基体材料表面的金属打底层；沉积于金属打底层表面的金属氮化物过渡层；沉积于金属氮化物过渡层表面的金属碳化物过渡层；沉积于金属碳化物过渡层表面的类金刚石碳基薄膜功能层；还公开了上述薄膜结构的制备方法。本发明通过对膜层结构的优化，从而提升结合力，把行业标准的结合力等级从HF4提升到HF1。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提升 金刚石 碳基膜层 结合 等级 薄膜 结构 方法 | ||
【主权项】：
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