[发明专利]一种大尺寸石英坩埚及其制备方法在审
| 申请号： | 202310423397.4 | 申请日： | 2023-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN116675522A | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 张国忠;高文送;汪涵;朱海江;李国洪;朱燕亚 | 申请（专利权）人： | 无锡市尚领石英科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/14 | 分类号： | C04B35/14;C23C4/134;C23C4/10;C30B15/10;C04B35/66;C04B41/89 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 仲红敏 |
| 地址： | 214406 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明涉及坩埚制备技术领域，具体为一种大尺寸石英坩埚及其制备方法。本发明首先采用电弧法制备出初始石英坩埚，然后在初始石英坩埚表面制备多相涂层，该多相涂层依次为Si |
||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 石英 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡市尚领石英科技有限公司，未经无锡市尚领石英科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310423397.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
