[发明专利]一种硅基OLED显示器件防串扰的阳极制作方法在审
| 申请号： | 202310434487.3 | 申请日： | 2023-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN116600620A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 陆炎;曹绪文;晋芳铭;孙圣;张良睿;李亮亮;荣长停;陈蒙;李启明;李阳阳;林进志 | 申请（专利权）人： | 安徽芯视佳半导体显示科技有限公司 |
| 主分类号： | H10K71/60 | 分类号： | H10K71/60;H10K50/81;H10K50/816;H10K59/80 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 曹政 |
| 地址： | 232000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅基OLED显示器件防串扰的阳极制作方法，包括如下步骤：1)将带有CMOS电路驱动的硅基板传入PVD设备中分别制作TIN‑AL‑ITO复合膜；2)将复合膜的基板进行光刻制程；3)将步骤2)的基板送至干法刻蚀设备，制作具有AL膜层内嵌的RGB三像素；4)将步骤3)基板送至蒸镀设备，实现CGL断裂，新型硅基OLED显示器防窜扰的阳极制作过程更简单，有效提高了硅基OLED阳极制作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 显示 器件 防串扰 阳极 制作方法 | ||
【主权项】：
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