[发明专利]一种等离子体刻蚀机用抽气环结构、调节装置及调节方法在审
| 申请号： | 202310439656.2 | 申请日： | 2023-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN116313725A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘曌宇;王俊;张二辉 | 申请（专利权）人： | 上海微芸半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海德禾翰通律师事务所 31319 | 代理人： | 夏思秋 |
| 地址： | 201201 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体刻蚀机用抽气环结构，包括至少两个抽气环：上层抽气环及下层抽气环；所述抽气环设置于刻蚀腔的内部，上层抽气环与下层抽气环形成为上下堆叠结构；所述上层抽气环的结构包括水平的抽气环主体，与内衬形成一体式结构，通过内衬上端的安装部安装在刻蚀腔体上，所述上层抽气环内圈设置有向上延伸的弯折部；所述下层抽气环的结构包括抽气环主体，所述抽气环主体内圈和外圈设置有向上延伸的弯折部。本发明还公开了一种等离子体刻蚀机用抽气环调节装置，包括抽气环结构、转动机构、控制系统。本发明还公开了一种等离子体刻蚀机用抽气环的调节方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 刻蚀 机用抽气环 结构 调节 装置 方法 | ||
【主权项】：
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