[发明专利]防扰动装置、传输设备及图案生成系统在审
| 申请号： | 202310442430.8 | 申请日： | 2023-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN116493152A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 黄蒙;王荣;薄宇飞 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族光伏装备有限公司 |
| 主分类号： | B05B7/24 | 分类号： | B05B7/24;B41F16/00;B05B1/34;H01L31/18;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种防扰动装置、传输设备及图案生成系统，设置于工件的传输路径上，所述防扰动装置包括腔室，所述腔室设置有供所述工件通过的通道，所述腔室内设置有雾化机构，所述雾化机构使所述腔室内产生雾状颗粒，所述雾状颗粒用于提高所述腔室内的湿度。可看出，本申请的防扰动装置能够在载体的传输过程中减少或防止外界气流对载体上的涂覆材料的影响，减少涂覆材料的挥发，另外还可提高传输路径上的湿度，可进一步地减少或避免涂覆材料的挥发。 | ||
| 搜索关键词： | 扰动 装置 传输 设备 图案 生成 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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