[发明专利]测量方法、装置、计算机设备和存储介质在审
| 申请号： | 202310447015.1 | 申请日： | 2023-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN116678343A | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 熊俊杰;谭新峰;郭丹;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 孙岩 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及一种测量方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：在待测对象的当前测量点，检测到目标探针在目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取第一振幅对应的第一位移控制信号，根据第一位移控制信号，绘制待测对象在当前测量点对应的结构图；控制目标探针沿着垂直于目标方向的方向移动到待测对象的下一测量点，跳转至检测到目标探针在目标方向产生的第一振幅位于第一振幅范围内的情况下，获取第一振幅对应的第一位移控制信号的步骤，直至待测对象全部测量点均完成结构图绘制为止，得到待测对象的目标结构图，目标结构图包括底面结构图和侧壁结构图。采用本方法能够提高测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测量方法 装置 计算机 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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