[发明专利]一种阻抗匹配方法、装置及基片加工设备在审
| 申请号： | 202310455594.4 | 申请日： | 2023-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN116488599A | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 肖尧;黄阳;刘洋 | 申请（专利权）人： | 四川英杰电气股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H7/01 | 分类号： | H03H7/01;H03H7/38 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 曹露 |
| 地址： | 618000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阻抗匹配方法、装置及基片加工设备，包括：获取匹配网络的输入电压值、输入电流值、电压‑电流相位差与当前可变电容值；计算当前输入负载阻抗，在预先建立的负载阻抗表达式中，基于当前可变电容值与计算得到的输入负载阻抗正向计算当前负载阻抗；再基于预设输入负载阻抗目标值在负载阻抗表达式中反算匹配电容值，判断是否完成匹配，若否，则基于匹配电容值对匹配网络中可变电容进行实时调整，并返回重新获取匹配网络参数，直到完成匹配。本发明所提供的匹配算法仅以单一的电容变量为调整目标，通过迭代计算配合调节的方式，可使匹配网络中的可变电容快速逼近电容的匹配目标值，实现快速阻抗匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阻抗匹配 方法 装置 加工 设备 | ||
【主权项】：
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