[发明专利]基于飞秒激光刻写的温度和盐度光纤传感器及其使用方法在审

专利信息
申请号: 202310460403.3 申请日: 2023-04-26
公开(公告)号: CN116222819A 公开(公告)日: 2023-06-06
发明(设计)人: 林子婷;吕日清;刘睿杰;李超凡;王煜;赵勇 申请(专利权)人: 东北大学秦皇岛分校
主分类号: G01K11/32 分类号: G01K11/32;B23K26/362;B23K26/70;G01N21/45
代理公司: 沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 代理人: 李运萍
地址: 066004 河北省秦*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供一种基于飞秒激光刻写的温度和盐度光纤传感器及其使用方法,涉及光纤传感技术领域。本发明传感器由输入单模光纤,空芯光纤、输出单模光纤拼接而成,简称SHS结构。基于这种结构,引入飞秒激光微加工技术进行波导和开腔的刻写,实现了法布里‑珀罗干涉仪(FPI)和马赫‑曾德尔干涉仪(MZI)的集成。本发明中包层波导的写入为MZI的实现提供了基础,半开放腔又实现了传感臂与外部环境的直接接触,为高灵敏度测量提供了基础。本发明具有良好的稳定性、重复性和再现性,显示了测量海洋温度和盐度的前景。
搜索关键词: 基于 激光 刻写 温度 盐度 光纤 传感器 及其 使用方法
【主权项】:
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