[发明专利]一种航天器太阳帆加工方法及太阳帆在审
| 申请号： | 202310461238.3 | 申请日： | 2023-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN116497312A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 任仲靖;李承阳;谢可才;孙首禹;徐阳;许泽昊;闫鹏 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/20;B64G1/44 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 马海波 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种航天器太阳帆加工方法及太阳帆，包括以下步骤：在硅片上旋涂底层，然后在底层上旋涂柔性基底薄膜；使用光刻工艺在柔性基底薄膜上形成第一沉积区，在第一沉积区内沉积薄膜电极；对完成薄膜电极沉积后的整体结构使用光刻工艺形成第二沉积区，然后在第二沉积区沉积合金梁，合金梁沉积在相邻两个薄膜电极之间；使用光刻工艺在合金梁上形成第三沉积区，在第三沉积区沉积反射梁，去除合金梁和柔性基底薄膜、薄膜电极之间因光刻工艺残留的光刻胶和牺牲层，将柔性基底薄膜从底层上剥离，以使得柔性基底薄膜产生残余应力，采用本发明的加工方法加工出的太阳帆抗弯刚度高，省去了支撑机构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 航天器 太阳帆 加工 方法 | ||
【主权项】：
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