[发明专利]一种判定硅片等级的方法、装置、设备及计算机存储介质在审
| 申请号： | 202310465364.6 | 申请日： | 2023-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN116930045A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 余以杰;王贵石;范东方;刘永亮 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/10 | 分类号： | G01N15/10;G06M11/00;G01N33/00 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 沈寒酉;李斌栋 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种判定硅片等级的方法、装置、设备及计算机存储介质；所述方法包括：获取待测硅片表面的检测结果数据；其中，所述检测结果数据包括所述待测硅片表面附着的每个颗粒物的尺寸、位置以及每种尺寸所对应的颗粒物的数量；根据所述待测硅片表面的检测结果数据，计算获得所述待测硅片表面上每个指定区域内包含的所述颗粒物的累加面积以及所述颗粒物的总数量；基于所述每个指定区域内包含的所述颗粒物的累加面积以及所述颗粒物的总数量，按照设定的判定规则来判定所述待测硅片的等级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 判定 硅片 等级 方法 装置 设备 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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