[发明专利]一种提高硅基OLED显示器件亮度的阳极制备方法在审
| 申请号： | 202310468824.0 | 申请日： | 2023-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN116456795A | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 安徽芯视佳半导体显示科技有限公司 |
| 主分类号： | H10K71/60 | 分类号： | H10K71/60;H10K59/80;H10K59/10 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 何全陆 |
| 地址： | 232000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种提高硅基OLED显示器件亮度的阳极制备方法，包括以下步骤：在所述的硅基板上制作SiNx/SiOx复合膜、制作光刻图形；通过刻蚀和去胶工艺，制成像素凹槽；阳极Ag膜沉积制备；化学机械抛光；清洗；ITO膜的溅射沉积；涂胶、曝光和显影；对ITO进行刻蚀和去胶；制备像素隔离层；涂胶、曝光和显影；完成硅基OLED阳极的制备。采用上述技术方案，采用Ag电极在硅基OLED领域应用，在不影响分辨率的前提下，可以显著提升阳极反射率，进而可有效提高终端产品AR/VR的亮度；Ag的热稳定性相较于Al更优，提升了阳极工艺的容忍度；为开拓市场提供有利基础条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 oled 显示 器件 亮度 阳极 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽芯视佳半导体显示科技有限公司，未经安徽芯视佳半导体显示科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310468824.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
