[发明专利]一种SiH4 在审
| 申请号： | 202310471138.9 | 申请日： | 2023-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN116682738A | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 余振富;黄海龙;林冰冰;陈彦均;杨朝胜 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/443 | 分类号： | H01L21/443;H01L21/02;H01L29/51;H01L29/786 |
| 代理公司： | 福州市京华专利代理事务所(普通合伙) 35212 | 代理人： | 宋连梅 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
一种SiH |
||
| 搜索关键词： | 一种 sih base sub | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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