[发明专利]具有斜面的工件的加工方法在审
| 申请号： | 202310472308.5 | 申请日： | 2023-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN116551471A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 杨群;周志伟;肖宜;陈才伟;李秋霞;尹建刚 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B9/02;B24B41/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种具有斜面的工件的加工方法，包括步骤：加工配磨治具的第一平面与第一斜面，并使所述第一平面与所述第一斜面之间形成具有第一预设倾斜角度的第一夹角；粗加工出工件的第二平面与第二斜面；将粗加工后的工件固定在配磨治具的第一斜面上，利用机床对所述工件的第二平面及第二斜面进行磨削精加工，并使磨削精加工后的第二平面与第二斜面之间形成具有第二预设倾斜角度的第二夹角；所述第二预设倾斜角度等于第一预设倾斜角度±预设角度误差值。本申请提供的具有斜面的工件的加工方法，可逐步提高工件的第二平面与第二斜面的平面加工精度，降低机床自身精度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 斜面 工件 加工 方法 | ||
【主权项】：
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