[发明专利]基于亚波长孔阵列辅助的多模干涉型片上双偏振波导交叉器在审
| 申请号： | 202310475456.2 | 申请日： | 2023-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN116540354A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 倪斌;罗晨阳;陈晗玥;熊吉川;徐彬 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 岑丹 |
| 地址： | 210094 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于亚波长孔阵列辅助的多模干涉型片上双偏振波导交叉器，包括：硅衬底、掩埋氧化层、硅波导层和上包层，其中掩埋氧化层生长于硅基衬底的第一表面，硅波导层生长于掩埋氧化层远离硅基衬底的一面，上包层覆盖掩埋氧化层远离硅基衬底的一面，并包裹住硅波导层；硅波导层由中心正交的两个相同直通波导组成；每个直通波导均包括依次连接的输入波导、亚波长光栅孔阵列辅助的过渡波导A、亚波长光栅孔阵列辅助的多模干涉耦合器波导、亚波长光栅孔阵列辅助的过渡波导B和输出波导。本发明通过优化插入的亚波长孔阵列的结构参数，可以使得两种偏振模在亚波长孔阵辅助的MMI中拍长相等，大大缩短交叉器中的MMI的长度，进而缩短总的器件长度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 波长 阵列 辅助 干涉 型片上双 偏振 波导 交叉 | ||
【主权项】：
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