[发明专利]一种低界面热阻的氮化镓/金刚石复合散热层的制备方法在审
| 申请号： | 202310476236.1 | 申请日： | 2023-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN116463629A | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 周兵;夏睿恺;王一名;马永;王永胜;于盛旺 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04;C23C14/35;C23C14/06;C30B28/14;C30B29/04 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人： | 申艳玲 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低界面热阻的氮化镓/金刚石复合散热层的制备方法，将抛光的自支撑氮化镓晶圆作为衬底，放置于磁控溅射镀膜装置的旋转样品台上；将腔室抽真空后通入氩气和氮气，使用高纯靶材作为射频溅射靶，在该衬底抛光表面沉积一层介质层薄膜；然后使用MPCVD设备配合偏压增强形核技术对介质层表面进行预处理；关闭偏压后，在经过预处理的介质层表面沉积高热导率的金刚石散热层，从而得到一种具有金刚石散热层的氮化镓晶片结构。本发明通过调控偏压和金刚石生长工艺制备氮化镓/金刚石复合散热层，界面热阻大小可控，具有界面热阻低、结合良好、金刚石薄膜热导率高的特点，对于促进高频高功率氮化镓功率器件的应用推广具有显著意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 界面 氮化 金刚石 复合 散热 制备 方法 | ||
【主权项】：
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