[发明专利]一种GaN/rGO氨气传感器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202310481026.1 申请日: 2023-04-28
公开(公告)号: CN116593538A 公开(公告)日: 2023-08-15
发明(设计)人: 李栋辉;韩丹;桑胜波;冀健龙;陈毅 申请(专利权)人: 太原理工大学
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12;B82Y30/00;B82Y40/00;B82Y15/00
代理公司: 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 代理人: 张敏;崔雪花
地址: 030024 *** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明公开了一种GaN/rGO氨气传感器及其制备方法,属于气体检测技术领域;所述的GaN/rGO氨气传感器包括固定在传感器衬底薄膜上的敏感材料;所述敏感材料是由可溶性镓盐、尿素与GO纳米片采用溶剂热方法制备得到的GaN/rGO气敏材料;本发明利用溶剂热方法,结构磁控溅射制备欧姆接触电极,用于实现室温下ppb级别氨气的快速稳定检测;本发明所制备的GaN/rGO氨气传感器具有良好的室温响应恢复特性,为医疗和工业生产等领域对氨气的检测提出了高效的技术解决方案。
搜索关键词: 一种 gan rgo 氨气 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
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