[发明专利]拉晶工艺在审
| 申请号： | 202310483348.X | 申请日： | 2023-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN116427030A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 杨文武;梁万亮 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 欧文芳 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种拉晶工艺，包括化料和稳定温度，并在稳定温度之后控制用于容纳硅熔液的坩埚以不同的第一转速和第二转速交替旋转。在稳定温度的步骤之后，控制用于容纳硅溶液的坩埚以不同的第一转速和第二转速交替进行旋转，增加硅溶液与坩埚的相对运动，排出硅熔液中的液体，提高晶棒质量。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 | ||
【主权项】：
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