[发明专利]单晶炉热场加热器、加热方法及单晶炉在审
| 申请号： | 202310489996.6 | 申请日： | 2023-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN116479520A | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 代晴华;周刚;刘选 | 申请（专利权）人： | 三一硅能（株洲）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 霍秋红 |
| 地址： | 412000 湖南省株洲市石峰区铜塘*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶炉技术领域，提供一种单晶炉热场加热器、加热方法及单晶炉，其中，单晶炉热场加热器用于给坩埚加热，单晶炉热场加热器设置于坩埚的外周和底部，包括氢能加热组件，所述氢能加热组件用于对所述坩埚进行加热。本发明提供的单晶炉热场加热器、加热方法及单晶炉，通过氢能加热组件对坩埚进行加热，利用氢能加热，相对于现有技术中的电加热，不产生二氧化碳，有利于环保，而且，氢能加热组件可以采用氢气直燃加热，也可以采用氢气催化反应红外加热，当采用氢气氧化反应辐射加热时，热损耗较小，加热速度快、加热均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉热场 加热器 加热 方法 单晶炉 | ||
【主权项】：
暂无信息
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