[发明专利]一种无损伤等离子体表面改性装置和方法在审
| 申请号： | 202310498989.2 | 申请日： | 2023-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN116669270A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 崔伟胜;张若兵 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳国际研究生院 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种无损伤等离子体表面改性装置和方法，包括高压电极、直流脉冲电压电极及多孔地电极；其中，高压电极与多孔地电极之间施加交流电压或脉冲电压以生成等离子体，等离子体中的电子、离子和自由基可穿过多孔地电极；其中，直流脉冲电压电极与多孔地电极之间施加指向多孔地电极的脉冲电场，在脉冲持续时间，电子在电场作用下向待处理样品轰击，在样品表面形成激发态和/或未成键粒子，而脉冲间隙时间，吸附在样品表面的电子与多孔地电极之间会形成指向样品的反向电场，离子和/或自由基运动到样品表面，与样品表面的激发态和/或未成键粒子发生键合，从而在接枝形成基团时避免对样品表面造成物理刻蚀损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 损伤 等离子体 表面 改性 装置 方法 | ||
【主权项】：
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