[发明专利]一种高精度线性位移检测系统在审
| 申请号： | 202310506007.X | 申请日： | 2023-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN116222464A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 钱征宇;封志明;杨慧敏 | 申请（专利权）人： | 江苏省计量科学研究院（江苏省能源计量数据中心） |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04;G01B11/03 |
| 代理公司： | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273 | 代理人： | 梁本花 |
| 地址： | 210023 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度线性位移检测系统，包括：基线导轨；设置在基线导轨上能够沿基线导轨滑动的位移移动装置；激光干涉位移数据采集系统，包括激光器和反射镜组；激光器作为标准测量器件，反射镜组对用于三路光路，形成用于激光器补偿的测量平面；激光分光系统，用于将激光器发射的激光分成三个平行且不共线的光路；环境监测模块，用于采集环境参数；补偿模块，用于根据环境参数补偿激光器的波长，并根据采集的位移量和另外两条光路与主光路的距离，对激光器的测量值进行补偿；计算模块，根据激光器采集的位移量和被测仪器采集的位移量计算被测仪器的示值误差。本发明能够对大长度类计量仪器提供量值溯源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 线性 位移 检测 系统 | ||
【主权项】：
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