[发明专利]一种致密石英坩埚高纯涂层的制备方法在审
| 申请号： | 202310507145.X | 申请日： | 2023-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN116535245A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 苏成;王海果;邓亮亮;裴迎 | 申请（专利权）人： | 徐州协鑫太阳能材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/89 | 分类号： | C04B41/89 |
| 代理公司： | 徐州新知科服知识产权代理有限公司 32634 | 代理人： | 关思 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备致密石英坩埚高纯涂层的方法。首先，按现有工艺制备熔融石英坩埚，然后制备复合涂层浆料。接下来，在熔融石英坩埚的四面和底部分别涂刷高纯浆料A和C，完成涂层一和底部涂层二的制备。在四面和底楞R角涂刷高纯浆料B，完成涂层三的刷涂。将熔融石英坩埚放入中频感应反应炉中，在感应磁场内加热涂层一、涂层二和涂层三，使其迅速生成50‑200um的碳化硅涂层。然后，向反应炉通入氮气，控制炉压0.15～0.2MPA，使涂层稳定＞1400℃。反应放热，可自蔓延快速完成。反应结束后，放出氮气，完成熔融石英坩埚高纯涂层的制作。与现有技术相比，本申请的高纯涂层具有稳定致密性好、低氧含量的优点，并且涂层的加热方法可以精准快速地加热超薄涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 致密 石英 坩埚 高纯 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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