[发明专利]基于图像处理的针痕检测方法、装置、设备及介质在审
| 申请号： | 202310509315.8 | 申请日： | 2023-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN116883310A | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 | 申请（专利权）人： | 杭州长川科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/90;G06T5/50;G06T5/00 |
| 代理公司： | 北京思源智汇知识产权代理有限公司 11657 | 代理人： | 毛丽琴 |
| 地址： | 310056 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于图像处理的针痕检测方法、装置、设备及介质，涉及晶圆测试技术领域，该方法包括：将包括待进行针痕检测的测试接点的待处理图像转换为第一灰度图像；从待处理图像中分离出预定颜色分量对应的单色图像；基于第一灰度图像，按照第一规则生成第一二值图像；其中，第一规则包括：像素值未超过对应的像素值阈值的像素点呈白色；基于单色图像，按照第二规则生成第二二值图像；其中，第二规则包括：像素值超过对应的像素值阈值的像素点呈白色；对第一二值图像和第二二值图像进行合并，得到合并二值图像；基于合并二值图像，确定待处理图像中的测试接点的针痕检测结果。本公开的实施例能够兼容对不同特征的针痕的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 图像 处理 检测 方法 装置 设备 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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