[发明专利]一种基于透射光谱的塑料薄膜厚度测量系统及测量方法在审
| 申请号： | 202310522270.8 | 申请日： | 2023-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN116481444A | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 程向红;高源 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 许小莉 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于透射光谱的塑料薄膜厚度测量系统及测量方法，属于薄膜光学与光学测量领域。该厚度测量系统包括光源、入射会聚透镜、薄膜样品、接收会聚透镜、微型光谱仪、数据处理部；光源与入射会聚透镜通过光纤连接，入射会聚透镜与接收会聚透镜的主光轴重合，调整入射会聚透镜与接收会聚透镜的焦点至无穷远处，薄膜样品放置于入射会聚透镜与接收会聚透镜之间，薄膜样品的法线与入射会聚透镜、接收会聚透镜主光轴之间的夹角为入射角，接收会聚透镜与微型光谱仪通过光纤连接，微型光谱仪与数据处理部通过USB数据线缆连接。本发明在现有全谱拟合法的基础上，结合了透射率包络线测量薄膜的折射率，实现了未知折射率薄膜的厚度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 透射 光谱 塑料薄膜 厚度 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
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