[发明专利]一种基于加权探针的叠层衍射位置校正方法在审
| 申请号： | 202310532396.3 | 申请日： | 2023-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN116698791A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 谷洪刚;钟磊;刘世元;刘力 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G01B11/24 |
| 代理公司： | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人： | 石梦雅;张彩锦 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种基于加权探针的叠层衍射位置校正方法，属于相干衍射成像领域，该方法为：采集衍射光场强度信息，同时初始化照明探针和待测样品的信息函数以及探针位置；获得出口波并导入传播模型获得模拟衍射光场，替换衍射光场强度信息进而获得更新衍射光场；将更新衍射光场导入逆向传播模型并获得衍射出口波，进而更新各个扫描位置待测样品和照明探针的信息函数；在探针位置周围形成探针矩阵，计算相关性后更新探针位置，重复上述步骤以进行迭代，直至完成预设次数迭代或达到预设条件。本发明可以避免局部未收敛区域对全局扫描位置校正的相互串扰，极大地提升了叠层衍射位置校正方法的收敛稳定性和收敛精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 加权 探针 衍射 位置 校正 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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