[发明专利]采用分布式多电极测量微/纳机电系统振动模态的方法

摘要

本发明公开了一种采用分布式多电极测量微/纳机电系统振动模态的方法，以解决现有技术中难以实现对微/纳机电系统的各阶振型与频率进行准确测量的问题。本发明通过在预设有一维/二维微/纳机电系统振动部件下方集成分布式电极，再通过激励电极对振动部件扫频得到振动部件的待定共振频率，最后以待定共振频率进行定频激振，测量振动部件不同位置的响应信号，将响应信号进行快速傅里叶变换并结合插值算法准确绘制出振动部件的各阶频率与振型，最终得到微/纳机电系统振动部件的前n阶振动模态信息。本发明具有测量设备与环境要求低，高精度，成本和操作难度低等特点，适应在微机电、纳机电系统中推广使用。