[发明专利]滤波器晶圆旋转冲洗甩干机有效
| 申请号： | 202310545445.7 | 申请日： | 2023-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN116313937B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 卢翠;张太鑫;左伟平;梁浩;徐江坤 | 申请（专利权）人： | 河北时硕微芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 河北向往专利代理有限公司 13162 | 代理人： | 游琦 |
| 地址： | 065000 *** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及滤波器晶圆冲洗设备技术领域，提出了滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，包括机架，设置在机架上的冲洗机构、甩干机构和烘干机构，甩干机构包括：甩干筒设置在机架上，旋转架转动设置在甩干筒内，旋转架上具有若干托板，若干托板沿旋转架圆周间隔分布，夹紧机构设置在托板上，晶圆盒设置在托板上，晶圆盒具有若干平行间隔分布的放置槽，夹紧机构用于夹紧晶圆盒，限位垫设置在放置槽两端，盖板设置在晶圆盒上，第一驱动件设置在机架上，第一驱动件用于驱动旋转架转动。通过上述技术方案，解决了现有技术中的不便对晶圆进行冲洗甩干的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波器 旋转 冲洗 甩干机 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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