[发明专利]一种高强高纯氮化硅坩埚及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202310571053.8 | 申请日： | 2023-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN116589284A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 张青;叶昉;成来飞;周杰;赵凯 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | C04B35/584 | 分类号： | C04B35/584;C23C16/34;C04B35/622;C04B35/64;C04B41/87 |
| 代理公司： | 丽水创智果专利代理事务所(普通合伙) 33278 | 代理人： | 李洁 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明涉及多晶硅铸锭技术领域，具体涉及一种高强高纯氮化硅坩埚及其制备方法和应用。本发明采用气压烧结结合化学气相沉积法，制备一种氮化硅陶瓷基体与Si |
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| 搜索关键词： | 一种 高强 高纯 氮化 坩埚 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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