[发明专利]换热介质回收系统和回收方法在审
| 申请号： | 202310575208.5 | 申请日： | 2023-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN116659179A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 刘紫阳;董春辉;耿海东;靳李富;胡文达;郑璐 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | F25D31/00 | 分类号： | F25D31/00;F25B1/00;F25B49/02;F25B43/00;F25B41/20;F24H3/04;F24H9/1863 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 赵娜 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种换热介质回收系统和回收方法，属于半导体晶圆加工设备领域和制冷技术领域，系统包括分离单元、冷却单元、加热单元、回收单元和温控单元，分离单元的输入端通过管道与待回收管路的输出端连通，加热单元的输出端通过管道与待回收管路的输入端连接，分离单元的输出端分别通过管道与冷却单元和加热单元连通，将气体分别输送至冷却单元和加热单元；冷却单元通过管道与回收单元连通，将冷却后的气液混合体输送至回收单元，回收单元从冷却后的气液混合体中回收换热介质。本发明根据换热介质在不同温度下的蒸汽压变化较大的特点，极大提高了装置内部换热介质的回收率，降低温控装置的调试成本。 | ||
| 搜索关键词： | 介质 回收 系统 方法 | ||
【主权项】：
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