[发明专利]单晶炉熔接控温方法及装置在审
| 申请号： | 202310579077.8 | 申请日： | 2023-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN116732615A | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;刘华;钟坚 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司;浙江求是半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/06 | 分类号： | C30B33/06;G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 石茵汀 |
| 地址： | 312399 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提出一种单晶炉熔接控温方法及装置，方法包括：基于单晶炉熔接过程中对应的熔接数据集，构建单晶炉熔接时的温度预测模型，以及预调温和稳温温度曲线库，基于温度预测模型，得到单晶炉在实时预调温和稳温各阶段对应的实时目标温度，并基于预调温和稳温温度曲线库，选取出与实时预调温和稳温各阶段的实时初始状态数据匹配的最优目标温度曲线，以根据最优目标温度曲线构建的实时预调温和稳温各阶段对应的代价函数，求解出调控到实时目标温度所需的目标功率值，进而调控熔接温度，由此，基于实时预调温和稳温阶段各自对应的最优目标温度曲线构建的代价函数，实现实时预调温和稳温阶段目标功率值的精准求解，提升熔接效率和温度的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 熔接 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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