[发明专利]原子力显微镜悬臂探针及其制作方法在审
| 申请号： | 202310587119.2 | 申请日： | 2023-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN116519979A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 凌小伦;徐耿钊;刘争晖;张春玉;张珽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 陆颖 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原子力显微镜悬臂探针及其制作方法，原子力显微镜悬臂探针包括：探针悬臂，探针针尖以及温敏结构。所述探针悬臂上形成有压敏结构；所述探针针尖形成于所述探针悬臂的一端；所述温敏结构形成于所述探针针尖上且延伸至所述探针悬臂上。本发明的原子力显微镜悬臂探针，是一种应用于原子力显微镜的、具备热学测量功能的新型自传感悬臂探针，在原子力显微镜技术上，利用压阻悬臂探针或压容悬臂探针结合热敏电阻或热电偶结构来研究纳米尺度温度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 悬臂 探针 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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