[发明专利]一种晶圆运输机器人及其安全区域的设定方法在审
| 申请号： | 202310588037.X | 申请日： | 2023-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN116787459A | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 郭景华;粟及时 | 申请（专利权）人： | 中芯智达半导体科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;H01L21/677;B25J9/16 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 倪静 |
| 地址： | 201201 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种晶圆运输机器人及其安全区域的设定方法，所述方法包括：基于晶圆运输机器人的预设工作区间，设置晶圆运输机器人的自由移动区间，以确定初始安全区域；基于初始安全区域，根据晶圆搬运避障路径设置危险预警区域，以确定最终安全区域。本申请所述方法通过仿真系统模拟的导入应用，可以最大限度的增加晶圆搬运机器人应用的兼容程度。在不同的制程设备当中，根据不同的空间环境，设置不同的障碍物参数，以此设定对应晶圆运输机器人的初始安全区域，并通过划定安全警戒线设置危险预警区域以设定不同制程设备的晶圆运输机器人的最终安全区域。本申请极大地减少了晶圆运输机器人在晶圆搬运过程中的安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 运输 机器人 及其 安全 区域 设定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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