[发明专利]一种可调倍率双远心投影光学系统在审
| 申请号： | 202310600377.X | 申请日： | 2023-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN116804800A | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 霍大云;奚芳芳;郭宇涵 | 申请（专利权）人： | 锡凡半导体无锡有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/18 | 分类号： | G02B27/18;G02B13/22;G02B13/00;G02B15/14;G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 杨民 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明的可变倍率投影光学系统为双远心光路，沿其光轴方向包括前透镜组、孔径光阑和后透镜组，所述前透镜群组包括从物方至像方依次设置：第一透镜；第二透镜；第三透镜；第四透镜；所述后透镜群组包括从物方至像方依次设置的：第五透镜；第六透镜；第七透镜；第八透镜；还包括一变倍透镜，通过控制变倍透镜沿光轴方向移动，实现倍率调节。本发明可以在保持良好的双远心投影光学特性和良好的光学成像质量的条件下，在不增加光学零件数量的基础上、利用单片透镜的移动实现焦距变化，方便有效地修正或调节光学系统的投影倍率；光学系统选用的所有透镜均为球面，不包含非球面镜片，大幅度降低了加工，检测和装校的难度和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可调 倍率 双远心 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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