[发明专利]一种异质结太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种异质结太阳能电池及其制备方法，主要是通过在硅板表面制绒，对制绒后的硅板清洗，再去除硅板表面的氧化层，通过化学气象沉积法在硅板的表面依次形成一层本征非晶硅和掺杂非晶硅或者微晶硅的薄膜，再通过物理气相沉积法对硅板表面依次沉积一层透明导电氧化层薄膜和一层金属种子层薄膜，对沉积好金属铜种子层的硅片正面、背面依次涂覆一层感光油墨，然后进行烘干，采用某种曝光方式依次对硅片背面、正面的感光油墨进行曝光处理，形成某种主副栅相互垂直的图形，将曝光处理后的硅片传送至化学溶液中进行显影并烘干，最终在硅片正背面呈现出待电镀的沟槽图形，再放入电镀槽体中进行电镀铜处理，最后对镀铜后硅板进行去膜。