[发明专利]一种微泵及其制作方法在审
| 申请号： | 202310614261.1 | 申请日： | 2023-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN116677589A | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 王嫣然;薛春东;赵家铭;殷一帆;覃开蓉 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | F04B43/04 | 分类号： | F04B43/04;B81C3/00 |
| 代理公司： | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 21102 | 代理人： | 王海波 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微泵及其制作方法。该微泵包括泵体和外围电源系统。所述泵体包括泵体上盖和泵体下盖；泵体上盖包括芯片封装层、弹性膜、弹性膜驱动塞、磁场发生线圈等内部结构，各部分通过一体化加工方法集成在泵体上盖上；所述泵体下盖是带有内凹微通道结构的全PDMS一体化模块；泵体上下盖通过键合固定；电源系统用以产生电信号，驱动微泵执行器部分。该微泵组件少、结构简单、由全PDMS材料覆盖，可以解决目前片上微泵结构复杂、组装困难、气密性差、耐用性差、难以与其他芯片集成等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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