[发明专利]一种晶圆对位标记的快速检测系统及方法

摘要

本发明公开了一种晶圆对位标记的快速检测系统及方法，属于曝光设备技术领域。本发明采用多种定位方式协同定位，依次为粗定位，精定位，考虑到图像变形等问题采用重心定位，在多种定位方式协同后，彻底摆脱缺陷、杂点、涂胶等情况对图像造成的影响，同时采用三次处理模块的重心校正法，避免图像在光刻中的变形对定位造成影响，有效地提升了定位精度；此外，采用方向矩阵进行图像相似判定，图像的方向矩阵更加不容易受到光线、杂点等情况的干扰，有效地提升了抗干扰能力；本发明对硬件设备的要求不高，可以降低成本，且相比于基于深度学习的检测方法，本发明无需进行复杂的训练和重复学习的过程，计算速度较快，因此检测效率较高。