[发明专利]一种新的ESC陶瓷盘一体化烧结方法在审
| 申请号： | 202310619205.7 | 申请日： | 2023-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN116924776A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 马俊峰;朱顺存;任蔚康;张伟泉 | 申请（专利权）人： | 浙江新纳陶瓷新材有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/10 | 分类号： | C04B35/10;C04B35/622;C04B35/64;C04B41/88;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 纪志超 |
| 地址： | 322118 浙江省金华*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种新的ESC陶瓷盘一体化烧结方法，包括：在氮气的保护下，在还原气氛下，在水气的条件下，将电极和陶瓷盘坯体烧结在一起，得到陶瓷盘。本发明通过一体化烧结工艺，产品不用转移，在一定的温度曲线下，一次性排胶成型完成整个陶瓷盘的烧结，排胶充分，成型外观白度以及体积密度均较好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 esc 陶瓷 一体化 烧结 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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