[发明专利]一种用于高温的无液体压阻式碳化硅压力传感器有效
| 申请号： | 202310628565.3 | 申请日： | 2023-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN116380330B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李宁;胡宗达;张林;赵鑫;李明兴;张坤;宫凯勋 | 申请（专利权）人： | 成都凯天电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;G01L19/00 |
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| 地址： | 610091 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于高温的无液体压阻式碳化硅压力传感器，包括陶瓷推杆、SIC芯片和陶瓷支架；陶瓷推杆与钢膜连接，陶瓷推杆的尖端放置于SIC芯片上，且陶瓷推杆的尖端与SIC芯片上的碳化硅膜接触；SIC芯片放置在陶瓷支架中，陶瓷支架的底部与支撑圆柱相连；SIC芯片包括第一晶片和第二晶片；第一晶片和第二晶片之间键合相连；第一晶片的中心设有中心凸台，第二晶片底部开设有凹槽。本发明能够在高达400℃以上的温度下测量压力，解决了充油式压力传感器无法用于高温、膜片破裂造成液体对产品污染、灌装技术复杂等缺点，提高了传感器的测量温度阈值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高温 液体 压阻式 碳化硅 压力传感器 | ||
【主权项】：
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