[发明专利]使用同时存在的原位和远程等离子体源进行快速室清洁在审
| 申请号： | 202310634696.2 | 申请日： | 2018-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN116936327A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 基思·福克斯;乔纳森·丘奇;詹姆斯·李;马修·马德洛;凯文·戈伯 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明涉及使用同时存在的原位和远程等离子体源进行快速室清洁。一种用于清洁衬底处理系统的处理室的方法包括：向远程等离子体源(RPS)供应三氟化氮(NF |
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| 搜索关键词： | 使用 同时 存在 原位 远程 等离子体 进行 快速 清洁 | ||
【主权项】：
暂无信息
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