[发明专利]一种用于CVD设备的气体扩散板制作方法在审
| 申请号： | 202310643988.2 | 申请日： | 2023-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN116713696A | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 赵凯;张立祥 | 申请（专利权）人： | 苏州众芯联电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623 | 代理人： | 顾品荧 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区甪直镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于CVD设备的气体扩散板制作方法，选择铝合金板材作为气体扩散板的原材料，铝合金板材中的锌的含量小于200ppm；采用刀具对铝合金板材的背面进行切削，降低铝合金板材背面的厚度；在铝合金板材的背面打孔，制作气孔入口；采用刀具对铝合金板材的正面进行切削，降低铝合金板材正面的厚度；在铝合金板材的正面打孔，制作气孔出口，使气孔出口与气孔入口贯通形成开设在铝合金板材上的气孔；采用刀具对铝合金板材的侧面进行切削，形成气体扩散板产品；本方案设计的用于CVD设备的气体扩散板制作方法，采用锌的含量小于200ppm的铝合金板材作为制作气体扩散板的原材料，以减少在CVD过程中锌元素从板材的析出量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 cvd 设备 气体 扩散 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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