[发明专利]一种基于二氧化硅光波导的光栅型三叉戟结构大带宽模斑转换器在审

专利信息
申请号: 202310651072.1 申请日: 2023-06-05
公开(公告)号: CN116609882A 公开(公告)日: 2023-08-18
发明(设计)人: 孙小强;王曼卓;岳建波;刘庭瑜;方计民;吴远大;张大明 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: G02B6/14 分类号: G02B6/14;G02B6/124;G02B6/122;G02B6/12
代理公司: 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 代理人: 王立文
地址: 130012 吉林省长春市*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 一种基于二氧化硅光波导的光栅型三叉戟结构大带宽模斑转换器,属于集成光电子学技术领域。从下至上依次由基底层、下包层、芯层波导和上包层组成,下包层位于基底层之上,芯层波导和上包层共同位于下包层之上且芯层波导被上包层所包覆;芯层波导由光栅型三叉戟输入波导(由Core1、Core2和Core3组成)和直波导结构的输出波导Core4构成,光栅型三叉戟波导中的Core1和Core3结构完全相同,由N个相似的小锥形波导构成且均匀排列,Core2由N个相似的小倒锥形波导构成且均匀排列;本发明制备的模斑转换器具有耦合效率高、带宽大、结构紧凑、易于封装、工艺复杂度低的特点,具有广泛的应用前景。
搜索关键词: 一种 基于 二氧化硅 波导 光栅 三叉戟 结构 带宽 转换器
【主权项】:
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