[发明专利]一种基于高Q值腔光力冷却系统的MEMS加速度传感器

摘要

本发明公开了一种基于高Q值腔光力冷却系统的MEMS加速度传感器，包括光学检测单元及平行间隔设置的弹簧振子结构和MEMS凹面镜，弹簧振子结构和MEMS凹面镜之间构成传感作用的平凹型F‑P腔，其高Q值特性利用声子晶体制备高机械Q值的弹簧振子结构，利用光子晶体反射膜实现高光学Q值得F‑P腔；光学检测单元用于调制入射的1550nm激光波长，使激光波长失谐锁定在谐振峰一侧的工作点，激光频率ωl红失谐与平凹型F‑P腔的腔共振频率ωc设置为：ωl‑ωc＜0，平凹型F‑P腔的腔共振频率由平凹型F‑P腔的腔长决定。本发明利用腔光力学效应对机械振子进行光力冷却，能够降低机械热噪声，有效提高加速度传感器分辨率。