[发明专利]一种双压电叠堆驱动的探针装置在审
| 申请号： | 202310673086.3 | 申请日： | 2023-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN116577534A | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 李建平;陈松 | 申请（专利权）人： | 浙江师范大学 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/04;G01R1/02;G01R31/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321004 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体封测领域，具体为一种双压电叠堆驱动的探针装置。从内到外依次设置有第一压电叠堆、第二压电叠堆、驱动块、壳体、安装座、探针；所述驱动块一端连接所述第一压电叠堆和所述第二压电叠堆、另一端连接所述安装座；所述第一压电叠堆与所述第二压电叠堆为上下对称设置；所所述安装座上安装有探针。特色与优势：速度快、工作稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 驱动 探针 装置 | ||
【主权项】：
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