[发明专利]微纳光纤集成的微流控悬臂梁质量传感器和方法在审
| 申请号： | 202310681135.8 | 申请日： | 2023-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN116929512A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 潘婧;谢宇;张磊 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | G01G3/16 | 分类号： | G01G3/16 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 311121 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微纳光纤集成的微流控悬臂梁质量传感器和方法。振动结构用于对传感结构产生主动振动进而用于检测质量，传感结构用于容纳待测溶液而被振动结构带动产生被动振动进而检测振动反映质量；传感结构包括悬臂梁、微流控通道和微纳光纤，悬臂梁，一端布置在振动结构的压电陶瓷上面，另一端悬空伸出于振动结构的压电陶瓷，悬臂梁受振动结构带动而振动，微流控通道埋设在悬臂梁中用于容纳待测溶液；微纳光纤布置在悬臂梁上用于检测悬臂梁的振动。本发明能方便快捷地获得悬臂梁本征振动频率的频移数据，从而得到通道内液体质量的微小变化，具有系统集成度高、灵敏度高的特点，并且悬臂梁质量传感器的灵敏度、动态响应范围均可调。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 集成 微流控 悬臂梁 质量 传感器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于之江实验室，未经之江实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310681135.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
