[发明专利]复合结构物和其评价方法、半导体和显示屏制造装置在审
| 申请号： | 202310681240.1 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN116895608A | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 岩泽顺一;芹泽宏明;和田琢真;滝沢亮人;青岛利裕;高桥祐宜;金城厚 | 申请（专利权）人： | TOTO株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/29 | 分类号： | H01L23/29;C23C24/04;G01N27/62;G01N23/203;C04B41/87 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 孙雪;张淑珍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种抗粒子性出色的陶瓷涂层以及评价陶瓷涂层的抗粒子性的方法。具体而言，是一种包含基体材料及设置在所述基体材料上且具有表面的结构物的复合结构物，结构物包含多结晶陶瓷，将通过TEM图像解析算出的亮度Sa满足规定值的复合结构物，可作为要求具有抗粒子性的半导体制造装置的内部构件而适当加以使用。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 结构 评价 方法 半导体 显示屏 制造 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于TOTO株式会社，未经TOTO株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310681240.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电池用玻璃纤维棉加工装置
- 下一篇：一种GP型聚醚乳液消泡剂及其制备方法
