[发明专利]一种六氟化钼的纯化装置及纯化方法在审
| 申请号： | 202310688122.3 | 申请日： | 2023-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN116920441A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 冀嘉梁;彭立培;王亚峰;冯海波;倪珊珊;李丹丹;岳立平 | 申请（专利权）人： | 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D3/14 | 分类号： | B01D3/14;C01G39/04 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 李洪信 |
| 地址： | 057550 河北省邯郸市肥乡区化工工业*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种六氟化钼的纯化装置及纯化方法，装置包括包括粗品罐、吸附塔、精馏塔以及冷凝器；方法采用步骤1.将粗品罐内不纯的六氟化钼气体通入吸附塔底部，保持温度在20～100℃,吸附塔内的氟化钠或氟化钾吸附大部分氟化氢；2.六氟化钼气体通过管路进入精馏塔中；3.进一步去除氮气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、氢气、三氟化氮、四氟化碳和氟化氢；4.高纯六氟化钼气体进入收集充装罐；本发明通过吸附与精馏的纯化方式，得到高纯度的六氟化钼，其纯化效果优异，得到的产品纯度可达99.999％，有效的解决了微电子工业领域六氟化钼产品纯度不足的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氟化 纯化 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司，未经中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310688122.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
