[发明专利]一种基于Boost电路的有源阻抗匹配箱及其调节方法有效

专利信息
申请号: 202310691842.5 申请日: 2023-06-13
公开(公告)号: CN116455357B 公开(公告)日: 2023-09-05
发明(设计)人: 乐卫平;林伟群;姚志毅;杨佩铮 申请(专利权)人: 深圳市恒运昌真空技术有限公司
主分类号: H03H11/30 分类号: H03H11/30;H02M7/06;H02M3/156;H02M1/08;H01J37/32
代理公司: 北京天达知识产权代理事务所有限公司 11386 代理人: 许志宏
地址: 518052 广东省深圳市宝安区西乡街道铁*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种基于Boost电路的有源阻抗匹配箱及其调节方法,属于射频电源阻抗匹配技术领域,解决了现有阻抗匹配网络存在的调节速度慢等问题。有源阻抗匹配箱包括全波整流电路、电容、电容、电感、开关管、二极管及控制电路;全波整流电路的输入端连接特征阻抗;全波整流电路的第一输出端分别连接电容的一端、电感的一端;电感的另一端分别连接开关管的漏极、二极管的阳极;二极管的阴极连接电容的一端;全波整流电路的第二输出端分别连接电容的另一端和电容的另一端;开关管的源极接地;控制电路的输出端连接开关管的栅极,以控制有源阻抗匹配箱的等效输入阻抗等于特征阻抗。
搜索关键词: 一种 基于 boost 电路 有源 阻抗匹配 及其 调节 方法
【主权项】:
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