[发明专利]一种制冷测试仪器、测试系统和测试方法在审
| 申请号： | 202310694994.0 | 申请日： | 2023-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN116660196A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 许军 | 申请（专利权）人： | 安徽光智科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3563 | 分类号： | G01N21/3563;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 肖小龙 |
| 地址： | 239064 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明属于晶圆测试技术领域，涉及一种制冷测试仪器、测试系统和测试方法。包括：测试腔体为上端开口的中空结构，测试腔体安装固定在测试设备上端面的安装槽内；样品架沿所述测试腔体上端的开口插入到测试腔体内；样品架固定连接在转动件的下端，转动件与测试腔体滑动连接；第一波纹管和高度调节装置，所述高度调节装置带动所述第一波纹管伸缩，所述转动件转动安装在所述第一波纹管的下端；双接口相对测试设备固定，双接口固定设置在波纹管的上端，液氮沿一个接口依次通过波纹管、转动件后进入到测试腔体内，双接口的另一接口与真空泵连通。本发明使用时能够实现多样品测试，还能够提供芯片测试用的77K环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制冷 测试 仪器 系统 方法 | ||
【主权项】：
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