[发明专利]多结垂直腔面发射激光器结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202310696448.0 | 申请日： | 2023-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN116706681A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 叶培飞;王玉;叶伟民;卢伟;丁杰;周珊;张银桥 | 申请（专利权）人： | 厦门银科启瑞半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/125;H01S5/20 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 陈淑娴 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市厦门火炬高*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种多结垂直腔面发射激光器结构及其制备方法，其结果由下至上包括衬底、缓冲层、第一DBR反射层、谐振腔和第二DBR反射层，谐振腔包括垂直堆叠的多组多量子阱层，相邻两组多量子阱层中间通过隧穿结相连接；每组多量子阱层顶部分别设有氧化层，所述氧化层采用Al |
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| 搜索关键词： | 垂直 发射 激光器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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